一、蒸发舟使用的材料

　　蒸发舟作为真空镀膜的蒸发源，其材料必须耐高温、耐金属溶液腐蚀、抗热震性强、导热并具有一定的机械强度。基于上述要求，通过查阅相关文献，发现作为蒸发舟材料的主要有碳石墨材料和陶瓷材料。

　　碳-石墨材料具有以下特点:一，碳材料具有良好的耐高温性和热稳定性，超过真空镀膜所需的温度，因此稳定可靠。其次，碳虽然是非金属材料，但导电性好，电阻低。第三，碳石墨材料热膨胀系数低，抗热震性好，高温使用时尺寸稳定性好，温度变化大时不易破碎。第四，与其他材料相比，碳石墨材料具有良好的化学稳定性。但它是一种多孔材料，孔隙率在10%-30%左右。在镀膜过程中，蒸发舟容易断裂，导致电流无法通过，从而影响生产。

　　BN具有较高的热稳定性、化学稳定性和电绝缘性，还具有热导率高、介电性能好、产品易加工、熔点高等特点。与TiB2复合可以提高材料的热导率，获得合适的电阻率和电阻温度系数。

　　二、蒸发舟的排列方式

　　主要有直线排列和交错排列两种。采用直线排列时，由于电接触和热传导不良的问题，蒸发舟在加热过程中会在夹片内膨胀移动，容易导致蒸发过程不稳定。通过使用交错的蒸发舟系统，每个蒸发舟的蒸汽云相互支撑，即使在高速镀膜中，仍然可以实现高均匀性。

　　三、蒸发舟的温度控制

　　控制蒸发舟温度的主要目的是满足铝层厚度的要求，以理想的镀膜速度生产出厚度均匀的铝膜，延长蒸发舟的使用寿命。为了使蒸发的铝量大化，应尽可能使用蒸发舟的整个罐表面。在不同的温度下，铝熔池表面有三种情况。

　　首先是蒸发舟内有大的铝熔池，铝在蒸发槽内不会流到蒸发舟末端或超出侧面，所以铝膜的均匀性更好。二是蒸发舟工作温度过高，导致铝熔池减少。在这种情况下，为了维持镀膜速度，这个小区域的铝蒸发速率会增加，蒸发舟的使用寿命也会因为高温而降低，同时镀膜的均匀性变差。第三是蒸发舟温度过低，铝会溢出蒸发槽，导致铝层均匀性变差，甚至出现铝的飞溅。