蒸发舟是一种在高温下蒸发金属的仪器。它是一种陶瓷复合材料，主要成分是二硼化钛(TiB2)和氮化硼(BN)，有时还会加入其他材料来改善某些性能。采用现代精细陶瓷制备方法生产，具有金属耐腐蚀性好、耐高温、导电性能好、真空下使用寿命长等特点，可满足所有现代真空金属化工艺的生产要求。主要用于塑料薄膜的连续镀铝:如聚酯、聚丙烯薄膜镀铝电容器、塑料薄膜食品保鲜镀铝袋、激光镀铝防伪商标、烫金镀铝聚酯薄膜等。其次，用于显像管荧光屏镀铝、大规模集成电路电子束蒸发、熔炼稀有金属的坩埚、电解铝熔池电极。

　　蒸发镀膜工艺流程

　　加热蒸发:

　　包括固相或液相转变为气相的过程，每种物质在不同的温度下有不同的饱和蒸汽压。

　　运输过程:

　　蒸发的原子或分子在蒸发源和衬底之间的传输过程中与残留气体分子发生碰撞，这种碰撞与蒸发的原子或分子的平均自由程以及蒸发源和衬底之间的距离有关。

　　沉积过程:

　　原子或分子通过蒸发作用沉积在基底表面，即蒸汽的冷凝成核，核的生长形成连续的薄膜，是气相转变为固相的过程。

　　注意:以上过程必须在空气稀薄的真空环境下(10-？~1pa)，否则蒸发颗粒会与空气分子碰撞，造成膜污染甚至形成氧化物，或者蒸发源被氧化烧毁。

　　涂层蒸发源

　　常用的蒸发源有蒸发舟和坩埚。

　　蒸发舟是一种应用广泛的蒸发源，结构简单，使用方便。常见的蒸发舟有钨、钼、钽、铌、石墨、氮化硼等。其中钨舟、钼舟、钽舟在高温下会变脆。

　　常见的坩埚有钨坩埚、钼坩埚、钽坩埚、石墨坩埚、铜坩埚、氧化铝坩埚、应时坩埚、氮化硼坩埚等。